電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光譜分析和電子顯微鏡這兩種技術(shù)基礎(chǔ)上的，該儀器實(shí)質(zhì)上就是這兩種儀器的科學(xué)組合。電子探針是運(yùn)用電子所形成的探測(cè)針（細(xì)電子束）作為X射線的激發(fā)源來進(jìn)行顯微X射線光譜分析的儀器。分析對(duì)象是固體物質(zhì)表面細(xì)小顆?；蛭⑿^(qū)域，小范圍直徑為1μm。電子探針可測(cè)量的化學(xué)成分的元素范圍一般從原子序數(shù)12（Mg）至92（U），原子序數(shù)大于22的元素可在空氣通路的X射線光譜儀上進(jìn)行測(cè)量。電子探針的靈敏度低于X射線熒光光譜儀，原因是電子探針X射線的本底值高于后者，但電子探針的絕對(duì)感量比其他儀器都高。此外，后期生產(chǎn)的儀器，可作X射線背散射照相、透視照相。能兼作透射電鏡、能進(jìn)行電子衍射、能作電子熒光觀察等。

第一臺(tái)電子探針是法國制成的，是在1949年用電子顯微鏡和X射線光譜儀組合而成。

1953年前蘇聯(lián)制成了X射線微區(qū)分析儀，以后英、美等國陸續(xù)生產(chǎn)。

第一臺(tái)掃描電子探針儀是美國于1960年制成，不僅能對(duì)試樣作點(diǎn)或微區(qū)分析，而且能對(duì)樣品表面微區(qū)進(jìn)行掃描。